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Flexible structured high-frequency film bulk acoustic resonator for flexible wireless electronics
  • ISSN号:0960-1317
  • 期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间:2015.5
  • 页码:-
  • 相关项目:嵌入式电极侧向场激励薄膜体声波谐振器研究
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