中文摘要：

侧向场激励薄膜体声波谐振器（FBAR）作为一种新型的可工作于液相环境的射频MEMS器件，是目前高灵敏度生物传感器中最具竞争力的方案，但是，该技术当前主要存在寄生模式较多、液体中Q值衰减较大等缺点。本项目提出了一种嵌入式电极侧向场激励的FBAR结构，通过寄生模式频谱的搬移，实现高Q纯剪切波谐振。主要研究内容及目标有①研究侧向场激励FBAR器件的多物理场耦合、寄生模式以及结构对Q值的影响等机制，提出一种通过搬移寄生模式频谱来获得高Q纯剪切波谐振模式的方法；②提出一种嵌入式电极侧向场激励高Q纯剪切波谐振模式的FBAR结构，使其能适合于液相环境的生物传感应用。申请者已经对这种结构的FBAR进行了初步的理论分析与有限元研究，取得了一定的研究成果，验证了其可行性。通过本项目的实施，有望获得具有自主知识产权的高性能FBAR传感器的核心技术，对FBAR传感器在生物传感领域的应用具有推动作用。