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硅微机械F-P腔可变衰减器,
  • 期刊名称：光子学报
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：Vol.30，No.Z1，p.101-1
  • 语言：中文
  • 相关项目：微光机电法布里-珀罗电光调制器技术基础研究
作者： 欧毅|孙雨南|崔芳|
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