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Energy and Exergy Analysis of Atomic Layer Deposition of Al2O3 Nano-film Process
  • ISSN号：1742-8297
  • 期刊名称：International Journal of Exergy
  • 时间：2014
  • 页码：61-75
  • 相关项目：多尺度多场耦合的纳米TiO2薄膜制备精确能量模型研究
作者： Tao Li|Fenfen Wang|Hong-chao Zhang|Chris yuan|
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