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Grain-scale growth simulation of SiC film with the Chemical Vapor Deposition method
  • ISSN号:0927-0256
  • 期刊名称:Computational Materials Science
  • 时间:2012.6.6
  • 页码:128-132
  • 相关项目:基于分子动力学和格林函数的SiC/Ti基复合材料多尺度研究
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