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The effect of annealing treatment on microstructure and properties of TiN films prepared by unbalanc
  • ISSN号：0925-8388
  • 期刊名称：Journal of Alloys and Compounds
  • 时间：0
  • 页码：695-698
  • 语言：英文
  • 相关项目：无氢类金刚石（DLC）薄膜近红外区光学损耗机理研究
作者： Liu, Weiguo|Fan, Huiqing|Xi, Yingxue|
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