中文摘要：

本课题旨在研究无氢DLC光学薄膜在近红外区的散射特性和吸收特性，揭示薄膜形成条件与其损耗特性之间的相互关系；研究薄膜光学常数的变化规律和微观结构之间的关系，揭示微观结构与其损耗特性之间规律；建立工艺-结构-性能的相互依存链条，通过综合分析，建立适当的数学物理模型，揭示无氢DLC薄膜的光学损耗机理。为制备超低损耗无氢DLC光学薄膜，奠定坚实的理论基础。课题组采用不同工艺参数和制备技术完成了无氢DLC薄膜样片制备，通过不同手段测试分析了样片特性，探讨了无氢DLC薄膜的制备工艺与近红外区光学常数变化规律、薄膜微观结构、薄膜表面粗糙度、薄膜材料吸收特性、薄膜表面散射之间的关系；分析研究了椭偏技术测量薄膜光学常数的准确度，构建了无氢DLC薄膜椭偏分析的多种模型，明确了薄膜微结构与无氢DLC薄膜近红外区吸收特性、表面散射特性之间的关系，讨论了多层薄膜界面之间的特性，初步揭示了无氢DLC薄膜近红外区的损耗机理；在损耗特性研究的基础上，探讨了低损耗无氢DLC薄膜的应用。