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Resputtering of zinc oxide films prepared by radical assisted sputtering
  • ISSN号:0021-8979
  • 期刊名称:Journal of Applied Physics
  • 时间:0
  • 页码:044509-1-044509-9
  • 语言:英文
  • 相关项目:纳米尺度多层膜的界面对固体氧化物燃料电池电解质材料的离子电导增强效应的研究
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