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The on-chip temperaturecompensation and temperature control research for the silicon microgyroscope
  • 期刊名称：MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INF
  • 时间：2015.5.1
  • 页码：1061-1072
  • 相关项目：体硅微陀螺仪敏感结构的误差机理研究
作者： 柳小军|徐露|邓允朋|王行军|
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