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Research on the non？ideal dynamics of a dual？mass silicon micro？gyroscope
  • 期刊名称：MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INF
  • 时间：2015.11.14
  • 页码：1-12
  • 相关项目：体硅微陀螺仪敏感结构的误差机理研究
作者： 杨波|王行军|胡迪|吴磊|
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