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Research of a Symmetrical Decoupled Dual-massMicro-gyroscope with an Improved Lever Support System
  • 期刊名称:MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INF
  • 时间:2015.12.23
  • 页码:1-12
  • 相关项目:体硅微陀螺仪敏感结构的误差机理研究
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