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Taguchimethod-optimized sputter deposition of hydrogenated gallium-doped zinc oxidefilms in argon/hy
  • 期刊名称:Materials Science In Semicondutor Processing
  • 时间:2014.10.24
  • 页码:152-156
  • 相关项目:MOCVD法制备实用p型ZnO及发光应用的基础研究
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