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Nonlinear Plasma Dynamics in Electron Heating of Asymmetric Capacitive Discharges with a Fluid Sheat
  • ISSN号：0256-307X
  • 期刊名称：Chinese Physics Letters
  • 时间：0
  • 页码：0752021-0752024
  • 相关项目：反应离子刻蚀微观不均匀性的跨尺度研究
作者： Dai Zhong-Ling|Wang You-Nian|
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反应离子刻蚀微观不均匀性的跨尺度研究
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期刊信息
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  • 国际标准刊号：ISSN：0256-307X
  • 国内统一刊号：ISSN：11-1959/O4
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  • 获奖情况:
  • 中国期刊方阵“双高”期刊
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