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Resist shaping for replication of micro-optical elements with continuous relief in fused silica
  • ISSN号：0146-9592
  • 期刊名称：Optics Letters
  • 时间：0
  • 页码：1169-1171
  • 相关项目：纳米压印微光学器件中形貌误差产生机理及控制方法研究
作者： Jin, Peng|Gao, Yulong|Liu, Tingting|Li, Xiaojun|Tan, Jiubin|
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