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Replication of micro optical element with continuous relief profile in fused silica using UV-embossi
  • ISSN号：0167-9317
  • 期刊名称：Microelectronic Engineering
  • 时间：0
  • 页码：1086-1090
  • 相关项目：纳米压印微光学器件中形貌误差产生机理及控制方法研究
作者： Jin, P.|Liu, N.|Liu, T. T.|Tan, J. B.|
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