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异质外延Si/GaN应力状态的拉曼光谱测试分析
  • 期刊名称：激光与光电子学进展, 2010, 47(8): 083002
  • 时间：0
  • 相关项目：氮化镓基高电子迁移率晶体管-微悬臂梁力电耦合机制及结构制造的研究
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