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GaN基HEMT微加速度计的压阻系数测试
  • 期刊名称：微纳电子技术，2011，48（3）：172-176
  • 时间：0
  • 相关项目：氮化镓基高电子迁移率晶体管-微悬臂梁力电耦合机制及结构制造的研究
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