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不同厚度Al滤片对17～33nm高次谐
  • 期刊名称：光学精密工程 15（7），pp1016-1020。2007，EI 收录
  • 时间：0
  • 相关项目：基于准LIGA技术的MEMS制造误差修正方法计算机仿真研究
作者： 周洪军，钟鹏飞,郑津津，霍同林,
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