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紫外光刻中部分相干光的传播及衍
  • 期刊名称：中国科学技术大学学报， 37(1):24-29, 2007.
  • 时间：0
  • 相关项目：基于准LIGA技术的MEMS制造误差修正方法计算机仿真研究
作者： 李木军，沈连婠*，赵玮，李晓光
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