位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Fabrication of Silicon Crystal-Facet- Dependent Nanostructures by Electron- Beam Lithography
  • 时间：0
  • 相关项目：非对称库仑岛串联结构的硅基单电子器件的研究
同期刊论文项目
非对称库仑岛串联结构的硅基单电子器件的研究
期刊论文 5 会议论文 2
同项目期刊论文
Si纳米线场效应晶体管研究进展
利用电子束光刻制备晶面依赖的硅纳米结构
Reduction of proximity effect in fabricating nanometer-spaced nanopillars by two-step exposure
An efficient dose-compensation method for proximity effect correction