以醋酸锌为锌源,硝酸银为银源,用溶胶-凝胶法制备银掺杂的氧化锌纳米薄膜。研究不同热处理温度和不同银掺杂量对薄膜结构和性能的影响。用X射线衍射仪和场发射扫描电镜对其物相、结构和形貌进行表征,用紫外-可见光谱法对其光学性能进行测试。结果表明,在薄膜经过500℃热处理后,银以银单质的形式存在,氧化锌颗粒尺寸随银含量的提高而减小。而当热处理温度升高到600℃时,氧化锌纳米粒度随银含量的提高先增大后减小,膜中的银逐渐向晶界迁移并挥发。紫外-可见光谱显示,由于银纳米颗粒的表面等离子体共振,光吸收增强。并且银掺杂降低氧化锌薄膜的电阻,提高薄膜的电性能。