单层高效节能镀膜玻璃的化学气相沉积法制备及其性能研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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单层高效节能镀膜玻璃的化学气相沉积法制备及其性能研究

项目名称：单层高效节能镀膜玻璃的化学气相沉积法制备及其性能研究
项目类别：面上项目
批准号：50672086
申请代码：E0202
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2007-01-01-2009-12-31

项目负责人：赵高凌
负责人职称：教授
依托单位：浙江大学
批准年度：2006

中文摘要：

随着经济的发展，建筑节能越来越受重视，研发兼具阳光控制和低辐射功能的高效节能玻璃的需求随之迫切。本项目采用能应用于浮法在线玻璃生产的常压化学气相沉积法研究这种高效节能玻璃的制备，对其制备机理、光学电学和节能性能进行深入系统的研究，具有重要科学意义和应用前景。以TiCl4和NH3为原料，通过改变反应气体流量、反应温度、掺杂量和后热处理时间等参数，制备了各种非化学计量的TiNx镀膜玻璃，得到以下主要结果。（1）改变反应参数，得到了x=0.79-1.48的TiNx薄膜。对由改变反应温度得到的TiNx薄膜，在x=0.89-1.28的范围内随着x减小，导电性能提高，等离子体共振点蓝移，可见光区反射率降低，近红外区反射率提高，有利于实现高效节能。x=1.25薄膜的方块电阻为5Ω/sq，中远红外区的反射率为95%，具有优异的低辐射性能，同时其近红外区的反射率为62%，具有良好的阳光控制功能。（2）得到了钒掺杂的TiNx薄膜。钒掺杂提高了薄膜的电导率，从而提高了高效节能薄膜的可见光透过率。（3）后热处理使TiNx薄膜表面部分氧化，在保证其低辐射性能和阳光控制性能的同时，有效提高了其可见光区的透过率。

中文主题词：镀膜玻璃；低辐射性能；阳光控制性能；化学气相沉积；非化学计量氮化钛

结论摘要：

英文主题词coating glass; low-E; solar control; APCVD; nonstoichiometric TiN

成果综合统计