PECVD制备非晶硅薄膜均匀性控制方法研究
- ISSN号:1001-5868
- 期刊名称:半导体光电
- 时间:2015.12.4
- 页码:951-953
- 相关项目:基于波长转换的光读出室温红外探测新结构基础研究
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期刊信息
- 主管单位:信息产业部
- 主办单位:中国电子科技集团公司第四十四研究所(重庆光电技术研究所)
- 主编:江永清
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- 邮箱:soe@163.net
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- 国际标准刊号:ISSN:1001-5868
- 国内统一刊号:ISSN:50-1092/TN
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- 获奖情况:
- 重庆市首届十佳期刊称号,1999年,信息产业部1999-2000年度优秀电子期刊称号
- 国内外数据库收录:
- 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)