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Effects of Bias Voltage on Fen Films Prepared by Magnetron Sputtering
  • ISSN号:1516-1439
  • 期刊名称:Materials Research
  • 时间:2015.11
  • 页码:115-119
  • 相关项目:纳米复合硬质涂层中非晶组织的控制与致韧机理研究
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