位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
DEM 技术中微复制工艺研究
  • 期刊名称：微细加工技术
  • 时间：0
  • 页码：2000（1），61-65
  • 语言：中文
  • 相关项目：深层刻蚀微电铸微复制（ＤＥＭ）技术研究
作者： 陈迪，雷蔚|
同期刊论文项目
深层刻蚀微电铸微复制（ＤＥＭ）技术研究
期刊论文 5
同项目期刊论文
非硅三维微加工技术
Sub-microns period grating couplers fabricated by silicon mold
New Type X-ray Mask Fabricated Using Inductively Coupled Plasma Deep-etching
三维微加工新技术--DEM技术研究