中文摘要：

DEM技术是一种新型准LIGA技术，该技术结合了体硅微加工技术和LIGA技术的优点，降低了LIGA技术的成本，为非硅微加工技术开拓了一条新途径。目前课题组已完成了DEM技术的全部工艺，解决了硅微结构侧壁绝缘钝化工艺、从硅微结构中直接制备金属模具等技术难关，并对硅深层刻蚀工艺和微复制工艺进行了优化，获得了较好的结果，目前利用DEM技术可加工髦纸鹗艉退芰先⒔峁梗庸ず穸瓤纱?00微米，深宽比大于10。在本项目的研究过程中，课题组还发明了一种新型X光掩模板制备技术，该技术具有加工工艺简单、成本低廉、掩０迨倜さ扔诺恪DEM技术是一种新型准LIGA技术，该技术结合了体硅微加工技术和LIGA技术的优点，降低了L