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Sub-microns period grating couplers fabricated by silicon mold
  • 期刊名称：Optics & Laser Technology
  • 时间：0
  • 页码：2001,33(8),623-6
  • 语言：英文
  • 相关项目：深层刻蚀微电铸微复制（ＤＥＭ）技术研究
作者： 李以贵，陈迪|
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