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径向流动MOCVD输运过程的数值模
  • 期刊名称：人工晶体学报，2005，34（6）
  • 时间：0
  • 相关项目：利用电晕放电控制化学气相沉积输运过程的探索
作者： 左然、张红、徐谦
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