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行星式化学气相沉积反应器内对流
  • 期刊名称：工程热物理学报，2005，26(4)
  • 时间：0
  • 相关项目：利用电晕放电控制化学气相沉积输运过程的探索
作者： 左然、张红、刘祥林
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