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10kV等离子体表面改性高压脉冲电源
  • 期刊名称:强激光与粒子束. 2007, 19 (11): 1927 – 1930
  • 时间:0
  • 相关项目:一种细长管内表面离子注入新技术及其机理研究- - - - 射频放电/高压脉冲直接耦合的内源/正偏压等离子体离子注入
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