为提高硅微机械陀螺仪的性能,开展了单芯片集成硅微阵列陀螺仪的研究,对硅微阵列陀螺仪的结构设计和信号处理方法进行了深入的分析和研究。利用集合经验模态分解对硅微阵列陀螺仪的静态漂移信号进行了多尺度分解和去趋势项处理,并对预处理后的漂移信号建立了ARMA(2,1)信号模型,得到了硅微阵列陀螺仪测量系统的状态方程和观测方程。根据该模型,采用自适应平方根卡尔曼滤波方法,可以将静态漂移信号的零偏稳定性由129.6°/h减d\为22.8°/h,经过最优加权融合后的零偏稳定性与原始漂移信号相比提高了6倍。