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Microstructure and property changes induced by substrate rotation in titanium/silicon dual-doped a-C
  • ISSN号:0257-8972
  • 期刊名称:Surface and Coatings Technology
  • 时间:2014
  • 页码:419-424
  • 相关项目:多元共掺杂类金刚石碳膜的设计、制备及摩擦学特性研究
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