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spectroscopic characterization of fluorine atoms in atmospheric pressure He/SF6 plasma
  • ISSN号：1671-7694
  • 期刊名称：中国光学快报(英文版)
  • 时间：0
  • 页码：457-457
  • 语言：中文
  • 相关项目：常压射频反应等离子体抛光机理研究
作者： 王波|
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常压射频反应等离子体抛光机理研究
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期刊信息
  • 《中国光学快报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
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  • 国际标准刊号：ISSN：1671-7694
  • 国内统一刊号：ISSN：31-1890/O4
  • 邮发代号:4-644
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国科学引文索引（扩展库）,中国中国科技核心期刊
  • 被引量:403