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Chemical machining of Zerodur material with atmospheric pressure plasma jet
  • ISSN号:0007-8506
  • 期刊名称:CIRP Annals - Manufacturing Technology
  • 时间:0
  • 页码:337-340
  • 语言:英文
  • 相关项目:常压射频反应等离子体抛光机理研究
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