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中文摘要：
针对一种倾斜补偿摆动式干涉仪，利用旋转式音圈电机作为驱动单元，设计了扫描控制反馈系统，建立了控制系统的数学模型，分析了系统的性能参数，并将PID控制应用于系统的反馈控制设计，提高了系统的稳态性能和动态性能。结果表明，在波数为8000cm-1时对应干涉图频率的相对误差达到了0．67％，在实际应用中表现出良好的稳定性和可靠性，能够满足大气环境监测对傅立叶变换红外光谱仪的需要。
英文摘要：
The feedback control system and model of moving mirror scanning system to a tilt compensated rotated Michelson interferometer for Fourier transform infrared （FT-IR） spectrometer are presented in this paper, with a rotary voice coil motor driver. The system performance is analyzed and a PID controller is added to the control system to improve the static and dynamic performance. The experiments have shown that the relative frequency error is 0.67% at wavenumber of 8000 cm-1, This system has shown a good stability and reliability in practical application, and can be used in the FT-IR spectrometer for atmosphere monitoring.
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