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A new ultrasonic precise bonding method with ultrasound propagation feedback for polymer MEMS
  • ISSN号：0167-9317
  • 期刊名称：Microelectronic Engineering
  • 时间：0
  • 页码：3049-3053
  • 相关项目：聚合物微纳结构超声波压印产热机理与成形关键问题研究
作者： Sun, Yibo|Luo, Yi|Wang, Xiaodong|Zhang, Miaomiao|Feng, Yuqi|
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