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Contributions of N+, N2+, NO+ ion implantation to p-Type conversion of ZnO:Al films
  • ISSN号:0093-3813
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Plasma Science
  • 时间:2011
  • 页码:711-716
  • 相关项目:有机电致发光器件有机界面的等离子体修饰技术和机理研究
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