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掺钛氧化锌纳米薄膜的研究进展
  • ISSN号：1003-7551
  • 期刊名称：《广西物理》
  • 时间：0
  • 分类：TB34[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：[1]广西大学物理科学与技术学院,广西南宁530004, [2]广西大学行健文理学院,广西南宁530004
  • 相关基金：国家自然科学基金项目（11265002）; 广西自然科学重点基金项目（2010GXNSFD013036）; 广西大学行健文理学院科研基金项目（2014ZKLX01）
作者： 陈真英[1,2], 廖庆佳[1], 黄文华[1], 刘武涛[1], 熊定康[1], 徐守磊[1], 邓文[1]
关键词： 掺钛氧化锌纳米薄膜, 透明导电, 磁控溅射
中文摘要：

在论述磁控溅射制备的掺钛氧化锌薄膜研究意义的基础上,介绍了目前国内外有关采用磁控溅射制备的掺钛氧化锌薄膜的研究现状,并展望了掺钛氧化锌薄膜的未来研究方向。

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期刊信息
  • 《广西物理》
  • 主管单位:广西区科委
  • 主办单位:广西师范大学 广西物理学会
  • 主编：侯德彭
  • 地址：桂林市王城
  • 邮编：541001
  • 邮箱：
  • 电话：0773-2822288-3157
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-7551
  • 国内统一刊号：ISSN：45-1150/O4
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:926