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倾斜旋转紫外曝光在微针制备上的应用
  • 期刊名称:上海交通大学学报,Vol.44, No.8(EI收录)
  • 时间:0
  • 分类:TN302[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]上海交通大学微纳科学技术研究院,微米纳米加工技术国防科技重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(50775149;60976081); 高等学校科技创新工程重大项目培育资金项目(708037)
  • 相关项目:基于聚合物MEMS微针与微流体技术的集成微系统研究
中文摘要:

采用倾斜旋转光刻的方法开展圆锥形异平面微针制备技术研究.通过改进实验室现有设备,以SU8光刻胶结构为模具,通过聚合物材料间的图形转移制备了PDMS异平面圆锥形实心微针的倾角为67°、高度为353μm的微针阵列.该方法具有低成本多材料适用的制备优势.

英文摘要:

By improving the existing equipment of our laboratory,the process of inclined and rotating UV lithography in the fabrication of conical out-of-plane micro-needles was researched and conical out-of-plane micro-needles of PDMS were produced through pattern transfer between polymer materials by the SU8 photoresist mold.This method has the advantages of low cost and wide material applicability.The microneedle with the inclination of 67 °and the height of 353 microns was made by this method.

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