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紫外光直写杂化溶胶－凝胶SiO2光
  • 期刊名称：《半导体学报》2007年7月第28卷第7期，1130-1133
  • 时间：0
  • 相关项目：紫外写入技术制备光波导器件基础研究
作者： 王玥，吴远大，胡雄伟
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