中文摘要：

扁平的回答有 40 隧道和 0.8 nm (100 GHz ) 的基于硅石的穿的波导栅栏(美国线规) 隧道间距被设计了并且制作了在输入波导的结束使用 multimode 干涉仪(MMI ) 。MMI 的合适的宽度理论上用横梁繁殖方法(BPM ) 被优化。有 16 渭 m 宽度 MMI 的一个美国线规试验性地被制作。测量结果证明 3 dB 带宽是 0.62 nm，插入损失() 从 5.2 dB 到 7.5 dB，并且串音是不到鈥 ? 0 dB。3dB 带宽，隧道数字和 AWG 的隧道间距与模拟价值同意很好。CLC 数字 TN253 文件代码 A 由中国的国家自然科学基础支持了(号码 60477035，号码 60507006 ) 并且科技鈥 ? 的部 73 鈥 ? 计划(没有。G2000036602 ）

英文摘要：

A flat response silica-based arrayed waveguide grating （AWG） with 10-channels and 0.8 nm （100 GHz） channel spacing has been designed and fabricated using multimode interferometer （MMI） at the end of input waveguide. Proper width of MMI is theoretically optimized using beam propagation method （BPM）. An AWG with a 1 6 um width MMI is fabricated experimentally. The measurement results show that the 3 clB bandwidth is 0.62 nm,insertion loss （IS） ranges from 5.2 dB to 7.5 dB,and the crosstalk is less than - 20 dB. The 3dB bandwidth,channel numbers and channel spacing of the AWG agree well with the simulation values.