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基于飞秒激光的石英刻蚀参数探讨
  • ISSN号:1000-372X
  • 期刊名称:应用激光
  • 时间:2012.2.15
  • 页码:45-48
  • 分类:TN24[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]武汉理工大学光纤传感技术国家工程实验室,湖北武汉430070
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(项目编号:51175393); 湖北省自然科学基金重点资助项目(项目编号:2011CDA055)
  • 相关项目:超声波辅助的超短激光微加工技术及新型光纤传感器制备
中文摘要:

主要从实验角度研究了在波长780 nm飞秒激光作用下石英的烧蚀,给出了石英烧蚀孔径与能量的关系,计算出石英的烧蚀阈值为1.06 J/cm^2。并研究了光阑对孔径的影响,能量、扫描速度、扫描次数与微槽宽度和微槽深度的关系。

英文摘要:

The ablation of fused silica were mainly explored from experiments with the femtosecond,and the wavelength of femtosecond laser is 780 nm.The relationships between energy and diameter and depth were given,and the ablation threshold of fused silica was figured out at 2.28 J/cm^2.The diaphragm,s influence on diameter is also studied.Furthermore,the relationships between energy,as well as scan speed and scan times,and the depth and width of microgroove were discussed.

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期刊信息
  • 《应用激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:
  • 主办单位:上海市激光技术研究所
  • 主编:王之江
  • 地址:上海市宜山路770号
  • 邮编:200233
  • 邮箱:yyjg@laser.net.cn
  • 电话:021-64700560-2107 64516313
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-372X
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1375/T
  • 邮发代号:4-376
  • 获奖情况:
  • 1996年上海市第二届优秀期刊评比二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:5768