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An Electromagnetically Excited Silicon Nitride Beam Resonant Accelerometer
  • ISSN号：1424-8220
  • 期刊名称：Sensors
  • 时间：0
  • 页码：1330-1338
  • 语言：英文
  • 相关项目：基于昆虫毛状感触器的仿生微气流传感器研究
作者： Liu, Lei|Wang, Junbo|Wu, Zhengwei|Chen, Deyong|Shi, Xiaojing|
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期刊论文 11
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