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The structure, surface topography and mechanical properties of Si-C-N films fabricated by RF and DC
  • ISSN号:0169-4332
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:0
  • 页码:1328-1336
  • 相关项目:多级结构仿生型关节软骨/骨一体化修复体的研究
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