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激光烧蚀硅过程中的元素沉积规律
  • ISSN号:1000-0593
  • 期刊名称:《光谱学与光谱分析》
  • 时间:0
  • 分类:O657.3[理学—分析化学;理学—化学]
  • 作者机构:四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所,四川成都610065
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(60890200,10976023),2015基本科研校青年基金项目(2082604184075)资助
中文摘要:

基于激光诱导击穿光谱和 X射线能谱技术,测量了激光与油漆作用时发射光谱及作用前后元素成分的变化,以此研究了激光除漆的机理。实验测量了不同纳秒激光能量下激光诱导击穿油漆表面的光谱,计算了等离子体的电子密度和温度。通过扫描电子显微镜对油漆烧蚀形貌进行了分析,采用 X射线能谱仪测量了烧蚀前后油漆成分的变化。研究结果表明,等离子体电子密度、温度以及烧蚀区域大小都随着入射激光能量的增加逐渐增加。在激光作用前后油漆中碳(C)含量明显降低,原子百分比从78.25%降低到67.07%,说明激光与油漆作用过程中发生了烧蚀。通过对比钛(Ti)元素、C元素和铝(Al)元素的相对原子比例,表明更高的激光能量下油漆烧蚀的更剧烈。该工作对深入研究激光除漆机理有重要意义。

英文摘要:

The mechanism of laser paint removal is studied based on emission spectrum and composition analysis by using laser induced breakdown spectroscopy and X-ray energy spectrum technology.The electron density and electron temperature of the plasma was calculated with the LIBS spectrums with different laser parameters.The morphologies of ablated paint surface were analyzed with a scanning electron microscopy while the changes of paint composition before and after ablation were measured with an X-ray spectrometer.The results show that,the plasma electron density,temperature and ablation area gradually in-crease with the increasing of incident laser energy.The carbon (C)content in paint decreases from 78.25% to 67.07% after the laser irradiation,indicating the occurrence of the ablation in the process of laser paint removal.By comparing the content of tita-nium (Ti)elements,C element and aluminum (Al),we found that the paint ablation will be more severe at higher laser energy. This paper is important to in-depth study of laser paint removal mechanism.

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期刊信息
  • 《光谱学与光谱分析》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国光学学会
  • 主编:高松
  • 地址:北京海淀区魏公村学院南路76号
  • 邮编:100081
  • 邮箱:chngpxygpfx@vip.sina.com
  • 电话:010-62181070
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-0593
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2200/O4
  • 邮发代号:82-68
  • 获奖情况:
  • 1992年北京出版局编辑质量奖,1996年中国科协优秀科技期刊奖,1997-2000获中国科协择优支持基础性高科技学术期刊奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国生物医学检索系统,美国科学引文索引(扩展库),英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:40642