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内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究
  • 期刊名称：《金属热处理)2008年第33卷第8期 93-95页
  • 时间：0
  • 相关项目：低温等离子体沉积技术制备聚变堆面对等离子体材料与热沉间复合梯度涂层的工艺研究
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