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A linear ultrasonic motor using (K0.5Na0.5)NbO3 based lead-free piezoelectric ceramics
  • ISSN号:0924-4247
  • 期刊名称:Sensors and Actuators A: Physical
  • 时间:2011.2.2
  • 页码:410-414
  • 相关项目:精密电子制造装备关键理论与技术研究
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