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铜互连线内电流拥挤效应的影响
  • 期刊名称：《半导体技术》，32（5）2007
  • 时间：0
  • 相关项目：扩散阻挡层对铜互连内质量输运机制的影响- - 用户条件下的晶
作者： 任韬，汪辉
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