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Controllable fabrication of enclosed micro/nanochannels via polymethyl methacrylate pattern as sacri
  • ISSN号:1932-5150
  • 期刊名称:Journal of Micro/ Nanolithography, Mems, and Moems
  • 时间:0
  • 页码:049701-
  • 相关项目:金属-介质纳米波导阵列中光子的共振隧穿与可控开关研究
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