位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
A sacrificial layer etching method applied in surface micromachining using agitated BHF and glycerol
  • 时间：0
  • 相关项目：体硅微机械惯性传感器与CMOS电路单芯片集成技术研究
同期刊论文项目
体硅微机械惯性传感器与CMOS电路单芯片集成技术研究
期刊论文 12 会议论文 5
同项目期刊论文
Simulation of a novel lateral axis micromachined gyroscope in the presence of fabrication imperfecti
CMOS-MEMS体硅陀螺的系统仿真
一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法
A doubly decoupled lateral axis micromachined gyroscope
CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真
甘油加入BHF溶液作为牺牲层腐蚀方法的研究